常用的表面粗糙度的測量方法有比較法、光切法、光波干涉法和針描法。這些方法基本上用于測量表面粗糙度的幅度參數(shù)。
    一、比較法。比較法是將被測零件表面與粗糙度樣板直接進行比較的一種測量方法。它可以通過視覺、觸覺或借助放大鏡、比較顯微鏡，估計出表面粗糙度的值。這種方法多用于車間，評定一些表面粗糙度參數(shù)值較大的表面。這種方法精度較差，只能做定性分析比較。

    二、光切法。光切法是利用光切原理，即光的反射原理測量表面粗糙度的一種方法。常用的儀器是光切顯微鏡（雙管顯微鏡），該儀器適宜測量車、銑、刨或其他類似加工方法所加工的零件平面或外圓表面。光切法主要用來測量粗糙度參數(shù)Rz的值，其測量范圍為0.8~50μm。

光切顯微鏡工作原理圖

    三、光波干涉法。光波干涉法是利用光波的干涉原理測量表面粗糙度的方法。常用的儀器是干涉顯微鏡，適宜用來測量粗糙度參數(shù)Rz，測量范圍為0.05~0.8μm。

光波干涉法測量原理圖

    四、針描法。針描法的工作原理是利用金剛石觸針在被測表面上等速緩慢移動，被測表面的微觀不平度將使觸針作垂直方向的上下移動，該微量移動通過傳感器轉(zhuǎn)換成電信號，并經(jīng)過放大和處理，得到被測參數(shù)的相關數(shù)值。
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